TECHNICAL STATUS


대성이엔티는 끊임없는 연구개발과 기술혁신으로 최고의 품질을 제공합니다.

기술현황


1

SMC-300MM CMP / CVD / ALD / RTP

Chamber / Lid / Shower Head / Moving parts 가공

2

LCD-Dry Etcher(~10.5G)

상하부전극 / LINER / Cooling Plate / MASK FRAME / RF 가공

3

LCD-CVD / SPUTTER(~10.5G)

BACKING PLATE / DIFFUSER 가공

4

OLED-SPUTTER / EVAPORATOR / ENCAPSULATION(~6G)

MASK FRAME / AUTO ALIGNER / CELL CHAMBER / DOOR

이송 MODULE 핵심부품 가공

5

EMI SHIELD SPUTTER

CHAMBER / LID / CATHODE MODULE / TRAY MODULE

6

STAGE(~10.5G)

SLIDER / CROSS BEAM