TECHNICAL STATUS
㈜대성이엔티는 끊임없는 연구개발과 기술혁신으로 최고의 품질을 제공합니다.
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기술현황
보유기술 및 가공이력
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1
SMC-300MM CMP / CVD / ALD / RTP
Chamber / Lid / Shower Head / Moving parts 가공
2
LCD-Dry Etcher(~10.5G)
상하부전극 / LINER / Cooling Plate / MASK FRAME / RF 가공
3
LCD-CVD / SPUTTER(~10.5G)
BACKING PLATE / DIFFUSER 가공
4
OLED-SPUTTER / EVAPORATOR / ENCAPSULATION(~6G)
MASK FRAME / AUTO ALIGNER / CELL CHAMBER / DOOR
이송 MODULE 핵심부품 가공
5
EMI SHIELD SPUTTER
CHAMBER / LID / CATHODE MODULE / TRAY MODULE
6
STAGE(~10.5G)
SLIDER / CROSS BEAM